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analyzy出错求助

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[error] Unable to create child process: mesh3d, error code = 267 (7:56:55 下午四月 24, 2012)
[error] Simulation completed with execution error on server: Local Machine. (7:56:55 下午四月 24, 2012)
出现这两行,请教资深工程师怎么解决?
HFSS 13

execution error你激勵源設錯瞜

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